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12寸高端氣浮探針臺T-300G/T-300

用于1~12寸晶圓，批次小器件，單個芯片或MEMS等器件電學性能測試。

應用場景：I/V曲線測試，C/V測試，射頻S參數(shù)測試等；

特點優(yōu)勢：高穩(wěn)定性，易用性。采用Air Bearing Stage技術增強功能。

用于實驗室芯片驗證，失效分析，產線射頻芯片S參數(shù)測試等。

儀器搭配：數(shù)字源表、半導體參數(shù)分析儀、LCR數(shù)字電橋、網(wǎng)絡分析儀等。

可升級高溫測試功能；

規(guī)格參數(shù)：