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6寸鐳射探針臺T-150L
搭配進口鐳射激光系統(tǒng),波長:1064 nm、 532 nm、 355 nm可選。
應用場景:失效分析,集成電路修調(diào),燒蝕絕緣層后探測內(nèi)部電信號;
具備多種工作模式:單次、連續(xù) (1 Hz)、多個脈沖;功率連續(xù)可調(diào)。
切割尺寸:1μm x 1μm;50μm x 50μm(在50X物鏡下)
顯微鏡光學倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(UV鏡頭可選)
可對單個芯片,MEMS,液晶面板,1~6寸晶圓進行處理。
     
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