本次提供了一整套完善的探針臺(tái)系統(tǒng),擁有100fA以下超低的漏電流,可用于晶體管、三極管測(cè)試,二維材料、光電芯片的相關(guān)電學(xué)測(cè)試。整套包括了6寸器件探針臺(tái),MP-150L四軸位移針座、隔震平臺(tái)和屏蔽箱等。